Yarı iletken fabrikaları dünyanın en hassas üretim tesisleri arasında yer alır. Mikroçip, entegre devre ve bellek birimi üretiminde her bir proses adımı partikül, sıcaklık, nem ve kimyasal kontaminasyona karşı son derece duyarlıdır. Üretim ortamının psikrometrik koşulları nanometre ölçeğindeki yapıların kalitesini doğrudan etkiler. Endüstriyel nemlendirme cihazı kullanımı bu tesislerde hava kalitesi zincirinin ayrılmaz bir halkasıdır.
Fotolitografi süreçlerinde ortam nemi, fotorezist filmın kürleme profili ve çözünürlüğü üzerinde doğrudan etkiye sahiptir. Fotorezist kaplama sırasında havanın su buharı kısmi basıncı çözücü buharlaşma hızını belirler; düşük nem çözücünün hızla uzaklaşmasına ve film kalınlığında homojenlik kaybına neden olur. Bu durum kritik boyutlarda sapmalara yol açarak çip verimini düşürür. Silikon wafer yüzeyleri de ortam neminden etkilenir; kontrol edilmeyen nem koşullarında yüzeyde istenmeyen oksit tabakası oluşabilir ve devre özelliklerinde sapmalar görülür.
Yarı iletken üretim tesisleri genellikle ISO 14644 sınıflandırmasına göre ISO 4 veya ISO 5 temiz oda ortamında çalışır. Bu sınıflardaki ortamlarda nemlendirme sistemi partikül üretmemelidir; bu nedenle saf buhar üreten nemlendiriciler öncelikli tercih edilir. Buhar fazındaki su molekülleri tam anlamıyla gaz halindedir ve havaya mineral kalıntısı bırakmaz. Bu özellik temiz oda partikül sayım değerlerinin korunması açısından kritik avantaj sağlar.
Endüstriyel nemlendirme cihazı ile donatılmış yarı iletken tesislerinde temiz oda alanlarında genellikle yüzde 40 ile 55 arasında bağıl nem hedeflenir. Fotolitografi alanlarında bu aralık yüzde 40 ile 50 arasına daraltılır ve tolerans genellikle artı eksi yüzde 1 ile sınırlandırılır. Kimyasal buhar biriktirme ve plazma aşındırma gibi özel proses odaları kendi nem profillerine sahiptir ve bağımsız kontrol döngüleriyle yönetilir.
Sistem tasarımında hava işleme ünitelerinin yüksek filtrasyon kapasitesi ile nemlendirme ünitelerinin entegrasyonu titizlikle planlanmalıdır. HEPA ve ULPA filtrelerinden sonra hava akışına eklenen nem, laminer akış düzenini bozmamalı ve absorpsiyon mesafesi içinde tamamen buharlaşmalıdır. Nemlendirme kapasitesi mevsimsel dış hava koşullarına göre dinamik olarak ayarlanmalı; kış aylarında dış havanın mutlak nem içeriğinin düşmesiyle artan nemlendirme yükü karşılanabilmelidir.
Yarı iletken üretiminde endüstriyel nemlendirme cihazı seçimi yapılırken temiz oda sınıfı, proses gereksinimleri, su kalitesi ve otomasyon entegrasyonu birlikte değerlendirilmelidir. Hijyenik buhar üretimi, dar toleranslı kontrol kabiliyeti ve partikülsüz çalışma bu sektörde öncelikli kriterlerdir.
NKT – Nem Kontrol Teknolojileri olarak endüstriyel nemlendirme uygulamalarında uzman mühendislik desteği sunuyoruz. Tesisinize özel nemlendirme sistemi tasarımı ve ekipman seçimi için aşağıdaki iletişim formundan bize ulaşabilirsiniz.
